| 纯氮、高纯氮、超纯氮（GB/T8979-2008) | |||
| 项目名称 | 指标 | ||
| 超纯氮 | 高纯氮 | 纯氮 | |
| 氮气（N2)的体积分数/10-2 ≥ | 99.9999 | 99.999 | 99.99 |
| 氧气（O2)的体积分数/10-6 ≤ | 0.1 | 3 | 50 |
| 氩（Ar）的体积分数/10-6 ≤ | 2 | — | — |
| 氢气（H2)的体积分数/10-6 ≤ | 0.1 | 1 | 15 |
| 一氧化碳（CO)的体积分数/10-6 ≤ | 0.1 | 1 | 5 |
| 二氧化碳（CO2)的体积分数/10-6 ≤ | 0.1 | 1 | 10 |
| 甲烷（CH4)的体积分数/10-6 ≤ | 0.1 | 1 | 5 |
| 水分/10-6 ≤ | 0.5 | 3 | 15 |
| 注：表中纯度和含量均以体积分数表示（V/V)。 | |||
